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GB/T 27760-2011 利用Si（111）晶面原子臺階對原子力顯微鏡亞納米高度測量

日期： 2023
GB/T 27760-2011 利用Si（111）晶面原子臺階對原子力顯微鏡亞納米高度測量進行校準的方法
:中國標準分類號（CCS）:N04
國際標準分類號（ICS）:19.020

發布日期:2011-12-30
實施日期: 2012-05-01

主管部門:中國科學院
歸口部門:中國科學院

發布單位:中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局、中國國家標準化管理委員會

備注



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